超聲波掃描顯微鏡
超聲波掃描顯微鏡使用高頻超聲波(15MHz～2GHz)對試件內部、亞表面和表面等進行觀察及定性定量分析。其可以非破壞性、精細、高靈敏度地對試件微觀形貌、微損傷及力學性能進行表征，廣泛應用于微電子、集成電路、材料、航空航天和生物等領域的科學研究及過程質量控制。
產品特點
15MHz～500MHz超聲顯微檢測
4通道實時高效成像
缺陷檢測：內部空洞、分層、夾雜、氣泡和裂紋，用于晶元鍵合、SMT焊接、芯片封裝、MEMS器件、觸摸層、復合材料、材料涂覆層等過程質量控制
材料表征與分析：力學性能測量、金相分析、蠕變孔洞、疲勞微裂紋、粘接強度等
參數配置
Z軸行程 | 120mm |
掃描區域 | 用戶自定義 |
脈沖形式 | 負極性脈沖 |
供電方式 | 交流電220V±10%，頻率50Hz±5% |
結構形式 | 臺式 |
自動對焦 | 可實現表面、內部任意界面自動對焦 |
時間估算 | 整體及剩余用時估算 |
缺陷量化 | 可實現缺陷自動識別及量化 |
邊緣測定 | 可自動尋找被測樣品的中心位置和樣品邊緣，自動設定掃描范圍 |
力學性能測試 | 可用于材料表層力學性能分析，具備表面波速、泊松比、楊氏模塊、剪切模量和體積模量等參數測量功能 |
表面跟蹤掃描 | 可設置參考閘門，實現成像閘門跟隨功能。可解決由于樣品不平造成的圖像失真問題 |
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